檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關系到企業(yè)的生產效率與經(jīng)營成本。氦質譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達10-15pa:m3/s。當今常見的氦質譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質譜檢測技術以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質譜檢漏具有的技術優(yōu)越性。采用氦質譜檢漏技術，可以實現(xiàn)飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質量、率裝配。
真空檢漏的具體方法 檢漏步驟為: 1.用力按壓氣袋從粗抽閥開始向爐體方向噴吹氦氣，第-遍針頭移動的速度可以快些，對設備的全部焊口、法蘭連接、動密封、熱電偶連接等處進行檢漏，在焊口不規(guī)整及法蘭連接縫隙不均勻處將噴吹移動速度放緩并進行細致檢查。 2.不按壓氣袋，用針頭緩慢地對位置進行檢查，漏孔會吸入針頭中存有的少氦氣，觀測檢漏儀屏幕漏率值噴吹過程中的變化，找到漏率大且上升快的點即是漏點。
檢漏設備：質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達到一定真空度。氦質譜檢漏主要領域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等。
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